影响薄膜折射率的因素

薄膜的折射率决定于好几个因素：

1.组成膜的化学元素有关：对于化合物材料来说，共价键者比离子键者有较高的折射率，因为共价键化合物的离子性小易被极化。

2.与构成膜的晶态有关：不同的蒸镀条件下，薄膜的晶态会不同，因而造成了不同的折射率。

3.与成膜的晶粒大小及堆积密度有关：组成膜层的晶粒大小及堆积密度会影响膜层的折射率。而影响膜层的晶粒或大或小，堆积密度或紧或松与基板温度，蒸镀时的气压有关。一般来讲，温度越高，气压越低则晶粒越大，堆积密度越高。

4.与膜的化学成分有关：在蒸镀过程中材料的化学成分有时会分解，然后再结合，因此会造成化学成分的变化。