用离子束辅助沉积技术制备硫化锌和氟化镁膜

常规真空蒸镀硫化锌和氟化镁软膜具有良好的可见光透过率和红外光反射率，并且工艺简单，成本较低，因而在冷光灯等产品上得到了广泛的应用。但是，用常规真空蒸镀技术制备的硫化锌和氟化镁软膜由于牢固性、抗潮性和稳定性的差，有渐被二氧化钛和二氧化硅硬膜所取代的趋势。应用离子束辅助沉积技术，可获得具有很好牢固度、抗潮性和稳定性的硫化锌和氟化镁膜，从而使这种冷光膜又有良好的应用价值。

膜层的光学特性不仅与膜系设计、膜与基体的组分，膜厚监控的误差等因素有关，还与膜层的结构、杂质和缺陷等状况有关。膜层对光的吸收越少，红外光透过率和可见光反射率一般较高。用IBAD技术的冷光膜在正确设计和工艺条件下，具有良好的光学特性。