金属材料性能特性

铝粒-Al

原子量26.98，密度2.70g/cm3，熔点659℃，沸点约为2463℃。在10-2Pa真空度时蒸发温度约为1010℃。可用钨、钼、钽制成丝、舟或石墨、氮化硼坩埚加热蒸发。铝能与高熔点金属相湿浸润并形成合金，也与石墨、氮化物坩埚起反应。

铝是唯一从紫外（0.2μm）到红外（30μm）具有很高反射率的材料，大约在波长0.85um处反射率出现一极小值，其值为86%。铝膜对基板的附着力比较强，机械强度和化学稳定性也比较好，所以广泛用于反射膜。

波长小于200μm的区域，需要氟化镁膜作保护。在可见光区通常是用SiO作为初始材料，蒸发得到以Si2O3为主的SiOX膜作为Al的保护膜。膜层在掠入射观察时为淡黄或浅红色，其有效厚度大约在波长550nm的二分之一。注意SiO必须在一定的氧分压下慢速蒸发，否侧反射率会降低。

锗粒-Ge

原子量72.64，密度5.35g/cm3，熔点937℃，沸点2827℃。在10-2Pa真空时的蒸发温度为1167℃。可用钨、钼、钽丝制成锥形篮或舟加热蒸发，也可用石墨舟或石英。Al2O3坩埚加热蒸发，用电子束加热蒸发可以得到高纯度的锗膜。基底温度为300℃时所淀积的锗膜呈无定型结构，在2μm时的折射率为4.4，吸收端在1.7μm。其透明区为2~23μm。锗除了用于制备薄膜外，还可用来做透射红外的窗口材料，同时也可用于制备极紫外区的滤光片。虽然锗膜在红外波段是透明的，但这并没有限制他们作为极紫外滤光片的应用。